*、项目基本情况

项目编号：****-****-******

项目名称：等离子增强化学气相沉积系统

预算金额：***.****** *元（人民币）

采购需求：

碳基栅叠层项目是为推动碳基芯片的发展而设立，氧化硅和氮化硅薄膜是碳基器件测墙薄膜主要组成，等离子增强化学气相沉积是沉积氧化硅和氮化硅薄膜最主要的工艺，具有沉积速率快，沉积温度低的特点，其原理是在射频源驱动下，通过感应耦合***方式、在反应腔的上电极、下电极之间生成高密度等离子体，通过气路系统进入反应腔的工艺气体分子被电离生成等离子体；等离子体中的自由基发生化学反应、生成氧化硅、氮化硅等介质，在衬底材料（例如硅、砷化镓等半导体材料）上沉积成固体薄膜，对推进碳基集成电路的研发非常重要。具体详见招标文件第*章采购需求。

合同履行期限：合同签订后***天交货并安装完毕

本项目( 不接受 )联合体投标。

*、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第***条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无

3.本项目的特定资格要求：(1)投标人必须为投标文件递交截止之日前未被列入“信用中国”网站（ ）、中国政府采购网（ ）信用记录失信被执行人、重大税收违法失信主体、政府采购严重违法失信行为记录名单的；(2)不同投标人的法人、单位负责人不是同*人也不存在直接控股、管理关系；(3)投标人必须向采购代理机构购买招标文件并登记备案，未向采购代理机构购买招标文件并登记备案的无资格参加本次投标；(4)本项目不接受联合体投标；(5)本项目接受进口产品；(6)本项目非专门面向中小企业

*、获取招标文件

时间：****年**月**日 至 ****年**月**日，每天上午9:**至**:**，下午**:**至**:**。（北京时间，法定节假日除外）

地点：华采招标集团有限公司（北京市丰台区广安路9号国投财富广场6号楼****室）

*、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：****年**月**日 **点**分（北京时间）

开标时间：****年**月**日 **点**分（北京时间）

地点：北京市丰台区广安路9号国投财富广场6号楼**层****第*会议室

*、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。