查招标
查企业
查人员
查项目
查审批
搜索
精准搜索
模糊搜索
VIP权益
查招标
查企业
查人员
查项目
查审批
搜索
精准搜索
模糊搜索
VIP权益
大面积原子层沉积系统成交公告
浙江 嘉兴市
中标信息
发布时间:2023-11-23
查看原文
导出PDF
关注
项目进度
2023-11-23
| 大面积原子层沉积系统成交公告
招标详情

南方科技大学 *******-**-****-***** 竞采结果公告

项目名称 大面积原子层沉积系统
项目编号 *******-**-****-*****
项目类型 货物类
成交方式 最低价成交
公示时间 本公告自发布之日起*日
成交单位 ***********
成交金额(元) ******.**
成交理由 最低价成交
预算(元) ******.0
项目预算是否含税 国产含税
备注




采购明细
序号 名称 数量 单位 单价/元(报价) 总价/元(报价)

1

大面积原子层沉积系统(核心货物)

1

******.0

******.0

品牌

嘉兴科民

型号

****-***

生产厂商

嘉兴科民电子设备技术有限公司

产地信息

浙江省嘉兴市

技术规格及参数

大面积原子层沉积系统*套,主要技术指标和参数如下:
反应腔体****-***结构:
1:腔体加热采用外置加热结构
2:适用于1 片*****×*****,向下兼容小尺寸样品;
3:反应温度:最高***℃,控制精度±1℃;
前驱体源系统:
1:金属前驱体源 2 路,配置 高温快速 *** 阀(响
应时间<****)、手动阀、≥**** 不锈钢源瓶,源瓶及管
路加热温度 **-***℃,控制精度±1℃;
2:常温直通源 1 路,配置快速 *** 阀(响应时间<****)、手动阀、≥**** 不锈钢源瓶;
3:含两路载气系统,流量计控制,所有前驱体源管路采用管路+*** 密封,并具有在线清洗功能;
4:预留1路臭氧接口和1格前驱体源接口
真空系统
1.整机极限真空<**-*****,真空漏率<**-***•L/S
控制系统:
1. 专为钙钛矿低温 **** 工艺优化设计的主机;
2. 高精度 ***+工控机沉积自动控制系统,满足高精度 *** 沉积需求图像化的操作界面,实时显示系统各部分运行状态,可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数;
3. 多用户权限分配,软硬件互锁,异常报警、紧急停机等功能确保安全性;沉积模式:连续模式、停流模式;
4. 人机界面:外挂式触摸屏,可自由选择悬停位置
工艺验收:
1. 使用前驱体**甲氨基锡(******)+水(***),沉积氧化锡********,膜厚不均匀性 2%内;
2. 膜厚不均匀性测试方法:在 *****×***** 硅片除边缘 ***外取均匀分布的 ** 个点。椭偏仪膜厚测试,膜厚不均匀性达到对应指标为合格

质保期

合同签订后,**天到货。
设备安装调试验收合格之日起,质保期*年。

售后要求

免费安装培训调试*次,免费搬迁*次,**小时响应设备维修需求。

付款方式 合同生效并收到相应发票后支付合同总额的**%作为进度款;设备到达指定安装现场且安装、调试合格并提供全额发票后,经学校确认无质量问题后支付**%的货款。
交货期 合同签订后**天(自然日)内,具体时间根据学校要求提前5天(自然日)通知送货

同类中标信息
换一页
政府招标网
嘉兴市发改委招标 嘉兴市国土局招标 嘉兴市住建委招标 嘉兴市政府办招标 嘉兴市财政局招标 嘉兴市社保局招标 嘉兴市广播电视招标 嘉兴市地税局招标 嘉兴市国税局招标 嘉兴市质监局招标 嘉兴市旅游局招标 嘉兴市审计局招标 嘉兴市老干部局招标 嘉兴市党委招标 嘉兴市铁路局招标 嘉兴市地震局招标 嘉兴市民政局招标 嘉兴市武警招标 嘉兴市法院招标 嘉兴市武装部招标 嘉兴市检察院招标 嘉兴市公安局招标 嘉兴市街道办招标 嘉兴市商务局招标 嘉兴市城管局招标 嘉兴市司法局招标 嘉兴市保密局招标 嘉兴市海事局招标 嘉兴市公路局招标 嘉兴市规划局招标 嘉兴市交通运输招标 嘉兴市工信招标 嘉兴市畜牧招标 嘉兴市农业招标 嘉兴市粮食招标 嘉兴市林业招标 嘉兴市水利招标 嘉兴市水务招标 嘉兴市统计招标 嘉兴市外事招标 嘉兴市物价招标 嘉兴市信访招标 嘉兴市体育招标 嘉兴市教育招标 嘉兴市监察招标 嘉兴市侨务招标 嘉兴市人防招标 嘉兴市工商招标 嘉兴市安监招标 嘉兴市行政执法招标 嘉兴市劳动就业招标 嘉兴市文化招标 嘉兴市新闻出版招标 嘉兴市科技招标 嘉兴市环保局招标 嘉兴市气象局招标 嘉兴市学校招标 嘉兴市医院招标 嘉兴市农技招标 嘉兴市水保招标 嘉兴市地方志招标 嘉兴市红十字会招标 嘉兴市地震招标 嘉兴市扶贫招标 嘉兴市能源招标 嘉兴市商务招标 嘉兴市供销社招标 嘉兴市驻京办招标 嘉兴市图书馆招标 嘉兴市卫生和计划生育局招标 嘉兴市公共资源交易中心招标 嘉兴市食品药品监督管理局招标
我要反馈
反馈意见(500字以内)
您的手机号(选填)
 提交反馈